99.9999%电子级超高纯六氟化钨生产工艺研究项目

完成单位：中船重工第七一八研究所

本项目属特殊材料领域的研究成果。该项目获2017年度邯郸市科技进步一等奖。

在钨的氟化物中，WF6是惟一稳定并被工业化生产的品种。它的主要用途是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料，特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。目前全球市场需求2000吨以上，并且随着半导体

3D-NAND技术的发展，六氟化钨的需求量以30%以上的速度增长。

自2002年开始，中船重工第七一八研究所攻关研究99.999%的高纯六氟化钨。随着半导体3D—NAND技术的快速发展，半导体行业对电子气体厂商提出了更高的纯度要求。2013年，中船重工第七一八研究所开始研制99.9999%电子级超高纯六氟化钨，2014年该产品的成功研制，打破了国外技术垄断，为我国节约大量外汇，有力地推动了我国半导体行业的快速发展。

主要创新点：（1）创造性地采用了特殊的反应器结构设计，解决了氟化反应中的高放热、高压力、高腐蚀技术难题，保证了合成工艺的安全与高效。（2）采用了独特的自动化充装工艺的设计，避免了产品的质量受人员操作的影响，稳定了六氟化钨的产品质量。（3）创造性的开发出了一种惰性气体保护下的WF6气体检测技术，填补了国内该项技术领域的空白，并起草制定了WF6气体检测技术的国家标准。

项目取得授权发明专利6项，发表论文15篇，制定国家行业标准1项。项目开展以来，中船重工第七一八研究所先后建立起100吨/年和300吨/年的99.9999%的六氟化钨生产线，实现了99.9999%六氟化钨国产化的目标。自2014—2017年，实现新增产值3亿余元。六氟化钨生产线产能位于世界前三名。产品已应用于英特尔、东芝、台积电、中芯国际等国内外知名企业。市场占有率国内80%、国际

20%。  （邯郸市科技局提供）

负电型彩色激光打印机用有机光导鼓项目

完成单位：邯郸汉光科技股份有限公司

本项目属于光电材料领域研究成果。该项目获2017年度邯郸市科技进步一等奖。

项目旨在开发适合负电型彩色激光打印机使用的有机光导鼓（简称OPC鼓）。OPC鼓是一类在激光的照射下能使光生载流子形成并迁移的新型高技术信息处理器件，是激光打印机、数码复印机、激光传真机及多功能一体机等现

代办公设备中最为核心的光电转换及成像部件，直接决定打印、复印等影像输出的质量，是集现代功能材料、现代先进制造技术于一体的高集成、高附加值的有机光电电子信息产品。本项目主要针对惠普、三星等系负电型彩色激光打印机型号进行OPC鼓开发利用，符合国家产业政策，是我国“863”计划重要科研成果的产业化实施项目。

主要创新点：自主研发了具有高电子传输效率、高电子（空穴）迁

移率及良好的机械强度和耐磨性的空穴传输材料，并将其应用到负电型有机光导鼓涂层材料中，通过配方及工艺调整等，使OPC鼓感度满足了彩色打印机用有机光导鼓的高灵敏度和高传输效率要求，克服了当前彩色打印机用OPC鼓存在的电子传输效率低、传输过程电荷衰减速度快、感应速度低、打印密度浅、彩色饱和度低等问题。通过自主设计建设自动化OPC鼓涂布生产线，彻底摆脱了国外公司的

技术封锁。

该项目成功研制出了负电型彩色激光打印机有机光导鼓的多种型号，进一步打破了国外对我国的技术垄断，并填补了国内在该领域的空白，产生了可观的经济效益和社会效益，带动了铝管型材、铝鼓基切削加工、有机光电材料、墨粉生产的相关行业链条的发展。

（邯郸市科技局提供）